集成电路无尘车间设计施工要求
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
第一种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的净化设计方案。
FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本最低，洁净度安全性最高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
集成电路制造是高能耗的产业，而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上，因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。
随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升，为先进制程产品生产提供保障。
百科净化制作产品：
净化设备：洁净棚、超净工作台、洗手池、风淋室、货淋室、传递窗、FFU、BFU、高效送风口、层流罩、新风柜、采样车、无尘衣柜等不锈钢净化制品。
耗材配件：初，中，高效过滤器、耐高温过滤器、液槽式高效过滤器、回风百叶、调节阀、保温软管、法兰等。
百科净化专业从事净化设备研发生产、安装、维护的全面性技术服务的高科技企业。我们拥有强大的销售团队、众多专业技术人才，贴心的售后服务。产品广泛应用于光电、食品饮料、微电子、精密仪器、通讯通信、生物制药、农林、畜牧兽医、检验检疫、航空航天、汽车制造、大专院校和科研教学等行业领域。公司本着诚信、团结、创新、持续发展的经营理念致力于洁净行业，坚持以客户三个满意为基本原则：“产品质量的满意， 先进技术的满意，售后服务的满意 ”,不断加强企业内部的综合竞争力，公司在竞争中求发展，在挑战中谋机遇。勤劳和真诚的我们愿与您携手并进、共创辉煌！
深圳市百科净化科技有限公司与国内外众多知名品牌企业建立了良好、稳固的合作伙伴关系，公司拥有强大的人才、技术团队。并先后成为：惠州TCL移动通信、冠捷科技、信利电子、和而泰、上海微电子、印度尼西亚evercoss、菲律宾VanNC、Blackview、启鹏天辰、易快来、龙祥卓越、思迪科、载诚中触等众多企业的合作伙伴。
